大塚電子は、顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、形状のある実サンプルの薄膜の厚みを測定時間1秒／ポイントの高速で高精度に測定できる顕微分光膜厚計「OPTM series」を販売、すでに多くの販売実績を持つが、今回、インライン市場での適用を広げる目的で、インラインで使いやすい「OPTMリニューアル」を開発した。

　開発品では、コントロールボックス内の市販部品を小型化し、基板実装できるものは顕微膜厚ヘッドに実装し内製基板化したことで、コントロールボックスの削除と外部配線の簡素化を達成、設置スペースの削減を実現した。

　また、ランプの長寿命化により、メンテナンス性を向上。

　さらに、誰でも簡単に精度よくオートフォーカス条件を作成できる機能、“オートフォーカス条件自動作成機能”を開発し、オートフォーカス機能の改良を実現できた。