オリンパス、操作簡易なデジタルマイクロスコープを開発

2019年07月10日(水曜日)

 オリンパスは、サンプルを置くだけで3D観察から測定、レポート作成までの一連の操作が可能なデジタルマイクロスコープ「DSX1000」を開発した。

DSX1000

 幅広い観察倍率をカバーした専用対物レンズのラインアップ拡充や、さまざまな角度から観察できるフリーアングル観察システム、コンソールによる直観的なユーザーインターフェースなどを実現した。

 主な特徴は、①20~7000倍の幅広い観察倍率とフリーアングル観察システムにより、半導体ウエハーなどの薄型・微細なサンプルや金型と、マクロからミクロまで、1台でさまざまな解析業務に対応、②各種対物レンズと多彩な観察方法のワンタッチ切り替えにより、微細な欠陥も瞬時に捉える、③テレセントリック光学系の採用により、全倍率での測定精度保証を実現、など。