大塚電子は、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能な光波動場三次元顕微鏡「MINUK」を開発した。

　同装置はフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定できる。

　機能性フィルム、半導体、バイオメディカル、化学工業など、広範な分野で適用・計測評価が可能。