日本電子は、高空間分解能観察と操作性の両立を実現した新型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡「JSM-F100」を開発した。

　インレンズショットキーPlus 電界放出形電子銃と電子光学系Neo Engineに加えて、新開発の操作GUI『SEM Center』とAI （人工知能）を応用した『LIVE-AIフィルター』を搭載し、高空間分解能観察と操作性の両立を実現した。

　また、自社製エネルギー分散形X線分析装置（EDS）を標準搭載し、SEM Centerとフルインテグレーションすることにより、観察から元素分析まで、より容易にノンストップでデータを取得できる。

　高性能と使いやすさを進化・融合させたことにより作業効率50%以上の向上を実現し、日々の測定をハイスループット化する。