ブルカージャパン、in-situ SEM用ナノ機械的特性評価装置を市場投入

2020年11月17日(火曜日)

 ブルカージャパンナノ表面計測事業部は、in-situ SEM用のナノ機械的特性評価装置「Hysitron PI 89 SEM PicoIndenter™」を市場に投入した。SEM(走査型電子顕微鏡)内で、高負荷で過酷な環境下での試験を可能としており、高強度な材料の変形メカニズムの理解に役立つ。

 本システムは2通りの取り付け方が可能なRotation Tilt(回転傾斜)ステージを備えているため、SEM観察を行う際のサンプル位置決め、ミリング用のFIBカラムへの傾き調整、結晶方位の向き調整のための回転や、複雑な材料の構造と特性の相関性の研究を可能にする幅広い検出器との互換性を実現する。

 また、自動測定、高速機械的特性マッピング(XPM)、疲労試験、ナノトライボロジー試験、SPMイメージング、電気的特性評価モジュール、高温試験、EBSD・EDS・CBD・TKD・STEMなど各種分析技術との互換性を提供する。

in-situ SEM用ナノ機械的特性評価装置「Hysitron PI 89 SEM PicoIndenter™」
in-situ SEM用ナノ機械的特性評価装置「Hysitron PI 89 SEM PicoIndenter™」