大塚電子、面内膜厚ムラ検査が可能な開発・品管向け分光膜厚計を開発

2020年03月19日(木曜日)

 大塚電子は、分光干渉式の採用により検量線不要の全面フィルム検査が可能な膜厚計。フィルムなどの研究開発や抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が行える「ラインスキャン膜厚計オフラインタイプ」を開発した。全面を高速・高精度に測定可能。

「ラインスキャン膜厚計オフラインタイプ」
「ラインスキャン膜厚計オフラインタイプ」


 特徴は、①ハード・ソフトともにオリジナル設計、②膜厚測定の専門メーカーだからできる充実のサポート、③分光測定による高精度な膜厚測定(特許取得)、④高速に測定が可能(500万ポイント以上/分)など。

 PETフィルムの厚み測定において、PETフィルムは延伸すると複屈折を持つため、従来法では複屈折の影響を受け測定の精度が落ちるが、独自の処理によって複屈折の影響を抑えた高精度な測定を可能にしている。